迈克尔逊干涉仪，是1881年美国物理学家迈克尔逊和莫雷合作，为研究“以太”漂移而设计制造出来的精密光学仪器。它是利用分振幅法产生双光束以实现干涉。通过调整该干涉仪，可以产生等厚干涉条纹，也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量，若观察到干涉条纹移动一条，便是m2的动臂移动量为λ/2，等效于m1与m2之间的空气膜厚度改变λ/2。在近代物理和近代计量技术中，如在光谱线精细结构的研究和用光波标定标准米尺等实验中都有着重要的应用。利用该仪器的原理，研制出多种专用干涉仪。
干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
影响干涉仪测量精度的主要因素：
1. 频率稳定性：在干涉仪中，将波长作为长度基准，频率变化直接影响测量结果。
2. 大气折射率。
3. 死程误差：在零位时，干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是干涉仪的一项重要误差。
4. 余弦误差：在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。
5. 脉冲当量误差：干涉仪显示的最小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
6. 细分误差：在干涉条纹一个周期内，由插细分不均匀引起的误差。
7. 阿贝误差：为避免阿贝误差，需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。
